原子間力顕微鏡(AFM)のアサイラム リサーチ

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 マイクロアンジェロ
 −標準装備のナノリソグラフィーとナノマニピューレーション                  


ナノリソグラフィーとマニピュレーションの機能は、長い間、実用されてきました。1990年、あの有名なIBMのSTMでマニピュレートした、キセノン原子のイメージを覚えていますか。今日求められるアプリケーションにおいては、信じられない程の精度と自在性を発揮する装置が要求されています。アサイラムのMFP-3DとCypher AFMシステムに標準装備されているマイクロアンジェロの特徴は、ナノリソグラフィーとマニピュレーションとして得られる中で、最も包括的な能力と最高の精度を提供します。


標準装備されているため、追加費用が不要です!
マイクロアンジェロでは、ナノメータやピコニュートンのスケール、さらに単一分子のレベルにまで、サンプルや表面をマニピュレートしたり、モディファイしたりすることができます。マイクロアンジェロは全てのMFP-3DとCypher AFMに標準装備されており、ナノリソグラフィーとマニピュレーションの機能を追加するために、更にハードウエアやソフトウエアオプションを購入する必要は一切ありません。


比類のない高再現性のクローズドループ
マイクロアンジェロの精密な操作の要は、アサイラムの特許であるナノポジショニングシステム(NPS)にあります。全3軸のNPSセンサー装備、クローズドループ操作により、現存の中で最も低いノイズレベルで、サブナノメータの分解能(MFP-3D使用時)と、サブオングストローム分解能(Cypher使用時)を、全レンジにわたり提供します。そのため、再現性のあるイメージングや定量性形状測定、信頼性の高い高確度イメージングオフセット、定量性のあるフォースカーブ、そしてマニピュレーションとリソグラフィーのための定量性のある位置決めを実現しています。


用途はさまざま!測定の可能性がひろがります。
マイクロアンジェロは、表面のスクラッチやパターニング、局所表面酸化、ナノチューブや粒子や分子のマニピュレーション、単一分子実験、ナノインデンティング、ピエゾ応答フォース顕微鏡、その他を含む数多くのナノリソグラフィーやマニピュレーションの用途に使用することができます。

ユーザーはマイクロアンジェロを使用して、さまざまな他のプログラムから曲線を容易にインポートすることができ、またMFP-3DやCypherソフトウエア環境の中で作成することもできます。図1では、元のJPEGイメージをソフトウエアにインポートして座標に変換し、リソグラフィーパターンをつくりました。さらにこれらの座標を使ってAFM探針をマニピュレートし、同じ探針でイメージをとりました。

図2は、液中のラムダダイジェストDNAに対するフォースカーブ測定実施の前と後のスキャンを示しています。フォースカーブはユーザー指定のサイト1、2、3(フォース測定前のイメージ)で実施しました。DNAは、フォース測定後のイメージでは太く見えています。それは、探針がフォースカーブを取っている間にコンタミ(恐らくはDNA)を拾ってしまったことによると考えられます。フォースカーブは引っ張られたDNAの特徴であるB-S転移を示しています。

アプリケーションノートのすべてをご希望の場合はこちらまでご請求ください。

酸化リソグラフィーを使用してGaAsウエハー上に生成した量子ドット構造。2.5μmスキャン。イメージはETHチューリッヒ、エンシリングループのD.グラフ氏とR.シェレサー氏のご好意によります。


図1: インポートしたJPEGライン描画の座標(左)と、ポリカーボネート上にナノリソグラフ的にエッチングされたAFM位相イメージ(右)。5μmスキャン。原画のJPEGスキャンはパブロ ピカソの“ドンキホーテ”のコピーです。


図2: ラムダダイジェストDNA(1μmスキャン)上において、マウス指定した3つの異なるポイントでフォースカーブをとりました(右側)。B-S転移の多様な部分がフォースカーブの中に見えています。