原子間力顕微鏡(AFM)のアサイラム リサーチ

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 硬度の定量測定を追及した新しいナノインデンターモジュール
 


真のインデンテーションが可能なAFMに!
アサイラム リサーチ社はMFP-3D AFMのための、新しいナノインデンターモジュールを発売しました。このナノインデンターでは、他のシステムに存在する不正確さを排除した、最適化AFMセンサーを使って、変位とフォースを測定します。これにより、向上した感度と分解能、そして極めて高確度の探針特性評価が可能になりました。MFP-3Dの高性能AFM能力と融合したこの高い定量性を有するツールは薄膜、コーティング、セラミックス、ポリマー等を含む幅広い材料の特性評価をする上で新しい突破口の役割を担うことが期待されます。

新タイプのフレクシャープローブ採用により、従来のAFMレバーの問題を排除
ナノインデンターはダイヤモンドが取り付けられ、ある校正されたバネ定数をもつフレクシャー(板バネ構造体)から構成されています。このフレクシャーはMFP-3Dヘッドに取り付けられ、その探針を表面に向け動かします。これが標準のカンチレバーホルダーに取って代わります。押し込みフレクシャーの変位は、ヘッドにあるピエゾアクチュエータでつくられ、特許申請中のNPSナノポジショニングセンサーで測定されます。

操作はナノインデンターモジュールに交換するだけ!
フォースは、バネ定数と、測定されたインデンターフレクシャー変位の積になります。この測定は、垂直フレクシャー変位が、標準のMFP-3Dフォトディテクタで測定される光学信号に変換されることによって、行われます。押し込み具合を示す、変位とフォースは、NPSセンサーで測定される変位に基づき算出されるので、このインデンターは比類のないほどの分解能を持ちます。操作は極めて簡単です。標準のカンチレバーホルダーをナノインデンターモジュールに交換するだけです。トップビューヘッドにより、光学的に特徴のない薄膜も容易に見ることができます。2つのモジュール、標準(2000-3500N/mバネ定数)とローフォース(300−800N/mバネ定数)が用意されています。

キューブコーナ圧子によるSi表面のナノインデンテーション。
イメージをクリックすると、3Dフライスルームービーを見ることができます。1μmスキャン。