原子間力顕微鏡(AFM)のアサイラム テクノロジー 原子間力顕微鏡(AFM)のアサイラム テクノロジー
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 CalibratARマイクロスケール 3D校正用リファレンス       
 


CalibratAR校正用リファレンスは、多様な顕微鏡の評価や校正などの目的に使用することができます。その顕微鏡には、走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、電子顕微鏡、光学顕微鏡、さらにはスタイラスや光学プロファイラーも含みますが、それらに限定されるものではありません。3次元の評価のために、リファレンスのサンプルデザインには3つの直交方向の特徴を組込んでいます。


CalibratAR校正用リファレンスは、10mm×10mm, 0.5mm厚のシリコンダイからできています。アクティブ領域はダイの中心部、7mm×7mmの領域にあり、その部分は2種の微細加工したピッチとステップハイトのグレーティングからなり、互いに同心円状に配置されています。内側のグレーティングは2mm×2mmのARロゴのピットで、他方外側のグレーティングは正方形ピット(右上図)で構成されています。グレーティングは、シリコンダイ上に成長した酸化シリコン層の上に高精度に微細加工されています。ダイ全体にはサンプルを損傷から保護するためと、導電性サンプルを必要とする顕微鏡でも利用できるようにするために、白金層40nm厚をコートしています。右下図はその細部を示しています。


詳しくはカタログをご請求下さい。




ダイの正面図はアクティブ領域を示しています。
全ての特徴は表面に刻み込まれています。





3D像はピッチ、深さ、材料の構造を示しています。 XYレイアウトにより、それらの軸方向で、直線性と感度を 測定できるようになっています。







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